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  • 創(chuàng )新南大

    打造具有國際競爭?的?純電?材料研發(fā)創(chuàng )新中?


    四大核心技術(shù)優(yōu)勢

    持續攻克“卡脖子”,打破封鎖,創(chuàng )造了許多項“中國第一”

    中國制造的第一瓶三甲基鎵、三甲基銦、三甲基鋁、三乙基鎵等MO源產(chǎn)品;
    第一瓶砷烷、磷烷
    第一支193nm ArF光刻膠
    • 863

      國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃
    • 02

      專(zhuān)項計劃
    • 17%

      碩?學(xué)位以上占?
    • 215

      研發(fā)專(zhuān)家

    科研實(shí)力

    江蘇南?光電研發(fā)中?致?于國家急需的關(guān)鍵電?材料的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,研發(fā)?向 包括先進(jìn)光刻膠、特種?體、泛半導體材料、原?層沉積前驅體及OLED有機新材料等。

    實(shí)驗室

    實(shí)驗室

    中?擁有13500平?現代化實(shí)驗室以及眾多先進(jìn)的研發(fā)、分析、測試設備,包括 193nm浸沒(méi)式光刻機1臺、?分辨核磁5臺、ICP-MS4臺、ICP-OES 2臺、各種 質(zhì)譜3臺以及進(jìn)?升華儀.蒸鍍機、熒光光譜儀.OLED光電測試lVL系統等其他?型儀器。

    創(chuàng )新平臺

    創(chuàng )新平臺

    國家?新技術(shù)企業(yè)
    江蘇省?純電?材料?程研究中?
    江蘇省企業(yè)技術(shù)中?
    江蘇省?純?屬有機化合物MO源材料?程技術(shù)研究中?
    博?后科研?作站
    江蘇省外國專(zhuān)家?作室
    材料科學(xué)姑蘇實(shí)驗室

    研發(fā)團隊

    研發(fā)團隊

    中?擁有研發(fā)?員215?,其中外籍專(zhuān)家9?,國家級重大人才工程3人,江蘇省“雙創(chuàng )?才”7名,姑蘇創(chuàng )新創(chuàng )業(yè)領(lǐng)軍?端?才6名。團隊中博?學(xué)位14名,碩?學(xué)位以上占?超過(guò)17%。

    技術(shù)突破

    • 打破封鎖

      1986年,MO源作為前驅體核心材料納入國家高技術(shù)發(fā)展計劃。
      2000年,南大光電成立,MO源成功實(shí)現產(chǎn)業(yè)化,成功打破“巴統”和國外公司的技術(shù)壟斷,并在“神舟”飛船、“東4”大衛星平臺系列衛星等航天器的太陽(yáng)能電池上成功得到運用。

    • 產(chǎn)業(yè)提升

      2016 年,承接國家“02-專(zhuān)項”,現已建成具備合成、純化、分析、封裝等功能的ALD前驅體研發(fā)中心和生產(chǎn)線(xiàn),完全滿(mǎn)足相關(guān)芯片產(chǎn)品的制造要求。

    • 國際領(lǐng)先

      2017年11月,引入陶氏化學(xué)的高K三甲基鋁生產(chǎn)線(xiàn),2020年10月正式投產(chǎn),在開(kāi)發(fā)高端半導體的進(jìn)程中,扮演關(guān)鍵材料供應商的重要市場(chǎng)角色。 2020年12月,跨國并購杜邦集團19項專(zhuān)利資產(chǎn)組,6項技術(shù)屬于全球首創(chuàng )技術(shù),一舉邁入國際領(lǐng)先的前驅體材料企業(yè)行列。

    • 自主創(chuàng )新

      2013年,獲得國家“02-專(zhuān)項”高純特種電子氣體研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目支持。
      2016年,經(jīng)過(guò)3年的技術(shù)開(kāi)發(fā),成功實(shí)現了國內30年未能解決的高純砷烷、磷烷等特種電子氣體的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化難題,一舉打破了國外技術(shù)封鎖和壟斷,為我國極大規模集成電路制造提供了核心原材料。

    • 替代進(jìn)口

      目前,砷烷品質(zhì)己達到7N,技術(shù)居全球前列,產(chǎn)能躍居全球第一,并進(jìn)入國際一流公司供應鏈。磷烷的技術(shù)水平也已居全球前列,產(chǎn)能為全球第二。

    • 產(chǎn)業(yè)整合

      2019年8月,南大光電成功并購飛源氣體,開(kāi)始布局氟系列電子特氣。依托南大光電客戶(hù)、機制和技術(shù)優(yōu)勢,進(jìn)行60多項技術(shù)創(chuàng )新,迅速提升產(chǎn)能、品質(zhì),降低成本,二年實(shí)現三氟化氮產(chǎn)能4000噸、六氟化硫產(chǎn)能3000噸,成本全球領(lǐng)先,產(chǎn)能?chē)鴥鹊诙?、全球第三?/p>

    • 國際領(lǐng)先

      一是擴展現有高純磷烷、高純砷烷氫類(lèi)電子特氣,進(jìn)軍氟系、硅系和硼系特種氣體;
      二是持續開(kāi)發(fā)先進(jìn)純化工藝、先進(jìn)吸附劑及負壓安全吸附技術(shù)以及特種氣體廢氣處理材料,提升電子特氣產(chǎn)品純度,尤其7N級別高純磷烷砷烷、5N級別BF3等高端領(lǐng)域的應用;
      三是 “123”新奮斗目標:在內蒙古打造一個(gè)世界級的氟硅電子材料基地,實(shí)現“綠色能源+綠色制造”,以“雙綠”躋身世界;培養三個(gè)世界單項冠軍。

    • 打破技術(shù)封鎖

      2017年,公司承接國家“02-專(zhuān)項”高分辨率光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)的研究項目,達到光刻膠基礎配方分辨率相關(guān)技術(shù)節點(diǎn)要求和項目原定的技術(shù)指標要求,得到了“02-專(zhuān)項”項目驗收專(zhuān)家組的高度認可。
      2018年,02重大專(zhuān)項實(shí)施管理辦公室決定由我司承擔193nm浸沒(méi)式光刻膠產(chǎn)品開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目,向我國真正擁有ArF光刻膠產(chǎn)品的方向繼續邁進(jìn)。

    • 實(shí)現產(chǎn)業(yè)化

      2019年底,公司在寧波市北侖區完成了第一條光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)建設,產(chǎn)能達到10噸/年的規模, 第二條光刻膠生產(chǎn)線(xiàn)于2020年完成建設,總產(chǎn)能達到25噸/年。同時(shí)在國家重大科技攻關(guān)項目的支持下,向光刻膠配套原材料領(lǐng)域展開(kāi)技術(shù)攻關(guān)。
      2020年4月,成為中國首個(gè)購買(mǎi)ASML 193nm浸沒(méi)式光刻機的電子材料企業(yè)。
      2020年底和2021年5月,193nm ArF光刻膠先后通過(guò)存儲和邏輯兩家芯片制造企業(yè)的驗證,為量產(chǎn)打下了堅實(shí)基礎,成為國內首個(gè)通過(guò)驗證的ArF光刻膠產(chǎn)品,ArF光刻膠研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化取得關(guān)鍵性突破,被列為國家攻克“卡脖子”工程的標桿。
      2021年建黨100周年前夕,順利通過(guò)國家“02-專(zhuān)項”驗收。

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