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  • 產(chǎn)品中心

    “中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化

    三乙硅烷基胺 (TDSA)
    • 中文名:三乙硅烷基胺
    • 英文名:Trisdisilanylamine
    • CAS號:14635-45-1
    • 純度:≥98.0%
    • 用途:通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)或原子層沉積(ALD)形成含硅薄膜
    • 規格:公斤級
    1,1,1-三(二甲氨基)乙硅烷 (TADS)
    1,1,1-三(二甲氨基)乙硅烷 (TADS)
    • 中文名:1,1,1-三(二甲氨基)乙硅烷
    • 英文名:1,1,1-Tris(dimethylamino)disilane
    • CAS號:2273763-87-2
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:通過(guò)等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成高密度氧化硅
    • 規格:公斤級
    二異丙氨基乙硅烷 (DPDS)
    • 中文名:二異丙氨基乙硅烷
    • 英文名:Diisopropylaminodisilane
    • CAS號:151625-25-1
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:通過(guò)氣相沉積形成晶種層
    • 規格:公斤級
    1,1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷 (DCDADS)
    • 中文名:1,1-二氯-1-二異丙氨基乙硅烷
    • 英文名:1,1-Dichloro-1-diisopropylaminodisilane
    • CAS號:2152681-89-3
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:通過(guò)等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
    • 規格:公斤級
    五氯乙硅烷 (PCDS)
    • 中文名:五氯乙硅烷
    • 英文名:Pentachlorodisilane
    • CAS號:31411-98-0
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:通過(guò)等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
    • 規格:公斤級
    1,1,1-三氯乙硅烷 (3CDS)
    • 中文名:1,1,1-三氯乙硅烷
    • 英文名:1,1,1-Trichlorodisilane
    • CAS號:78228-96-3
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:通過(guò)等離子體加強原子層沉積(PEALD)形成氮化硅
    • 規格:公斤級
    2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷 (BNS)
    • 中文名:2,2,4,4-四甲硅烷基戊硅烷
    • 英文名:2,2,4,4-Tetrasilylpentasilane
    • CAS號:1668602-96-7
    • 純度:≥98.0%
    • 用途:在低溫通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
    • 規格:公斤級
    新戊硅烷(NPS)
    • 中文名:新戊硅烷
    • 英文名:Neopentasilane
    • CAS號:15947-57-6
    • 純度:≥99.0%
    • 用途:在低溫通過(guò)化學(xué)氣相沉積(CVD)快速形成外延硅和多晶硅
    • 規格:公斤級
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