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  • 產(chǎn)品中心

    “中國芯”關(guān)鍵材料國產(chǎn)化

    三甲硅烷基胺 (TSA)
    • 中文名:三甲硅烷基胺
    • 英文名:Trisilylamine
    • CAS號:13862-16-3
    • 用途:通過(guò)流動(dòng)化學(xué)氣相沉積(FCVD)形成氧化硅
    • 純度指標:99.65%
    • 規格:公斤級
    二異丙氨基硅烷 (DIPAS)
    • 中文名: 二異丙氨基硅烷
    • 英文名:Diisopropylaminosilane
    • CAS號:908831-34-5
    • 用途:形成晶種
    • 純度指標:8N
    • 規格:公斤級
    四氯化鈦 (Ticl?)
    • 中文名:四氯化鈦
    • 英文名:Titanium tetrachloride
    • CAS號:7550-45-0
    • 熔點(diǎn):-25℃
    • 沸點(diǎn):135 - 136 °C
    • 蒸氣壓:12.8 hPa 在 20 °C
    • 產(chǎn)品等級:6N
    • 規格:15kg
    四乙氧基硅烷 (TEOS)
    • 中文名:四乙氧基硅烷
    • 英文名:Tetraethoxysilane
    • CAS號:1978-10-4
    • 熔點(diǎn):-82.49℃
    • 沸點(diǎn):168°C
    • 蒸氣壓:10.0 hPa 在 20℃
    • 產(chǎn)品等級:9N
    • 規格:17.7kg、35kg、200kg
    雙(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
    • 中文名: 雙(二乙氨基)硅烷
    • 英文名:Bis(diethylamino)silane
    • CAS號:27804-64-4
    • 熔點(diǎn):<-10℃
    • 沸點(diǎn):188℃
    • 產(chǎn)品等級:5N
    • 規格:10kg
    六氯乙硅烷(HCDS)
    • 中文名:六氯乙硅烷
    • 英文名:Hexachlorodisilane
    • CAS號:13465-77-5
    • 沸點(diǎn):144 - 145.5℃
    • 產(chǎn)品等級:6N
    • 規格:13kg
    八甲基環(huán)四硅氧烷 (OMCTS)
    • 中文名:八甲基環(huán)四硅氧烷
    • 英文名:Octamethyl cyclotetrasiloxane
    • CAS號:556-67-2
    • 熔點(diǎn):17-19℃
    • 沸點(diǎn):175-176℃
    • 蒸氣壓:1 mmHg (21.7℃)
    • 產(chǎn)品等級:7N5
    • 規格:10kg、18kg、200kg
    四甲基硅烷 (4MS)
    • 中文名:四甲基硅烷
    • 英文名:Tetramethylsilane
    • CAS號:75-76-3
    • 熔點(diǎn):-99℃
    • 沸點(diǎn):26-28℃
    • 產(chǎn)品等級:7N5
    • 規格:10kg、20kg、110kg、125kg
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